光栅尺零位（或称为参考点、零点、参考标记），是可以使用户在光栅尺的测量长度上找到的一个绝对位置。以奥地利RSF光栅尺为例，RSF的敞开式光栅尺的参考点都是直接做在尺子上。当读数头通过参考标记时，会输出一个和计数脉冲相同宽度的脉冲，因此如RSF光栅尺这类的参考标记又可以称作“真是标记”，因为该标记在往返扫描过程中可重复并且没有空程误差。后续电路通过这个脉冲预先设定一个值可以找到绝对参考标记的位置。